多通道質量流量控製係統 MFC-5Z

名稱

雙通道

三通道

四通道

五通道

質量流量控製器

工作溫度：5~45ºC
最大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S

重複精度: ±0.2%F.S.
流量範圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量範圍的可定製，需額外費用

工作溫度：5~45 ºC
最大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S
重複精度:±0.2%F.S.
流量範圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量範圍的可定製，需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
最大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.

重複精度: ±0.2%F.S.
流量範圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量範圍的可定製，需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
最大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.
重複精度: ±0.2%F.S.
流量範圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定製

輸入電源

        AC 220V/50Hz單相

功率

        23W

PLC觸摸屏

·  各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 

· RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控製

機械壓力表

·  有一機械壓力表安裝於前麵板上，與混氣罐相連接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

針閥

316 不鏽鋼

通氣管道

·  內部連接管道為Φ不鏽鋼管 

·  外部通氣管道為Φ聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

·316不鏽鋼針閥 

 Φ6mm 不鏽鋼管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

質量認證

CE認證

質保期

一年質保期，終身維護