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双温区滑轨式CVD系统(含预热器) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z

文字:[大][中][小] 2017-12-8    浏览次数:825    
 

双温区滑轨式CVD系统(含预热器) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z

设备描述

CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含预热器) 双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;PLC控制5路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD(化学气象沉积系统)常用于表面材料生长、沉积,是一款实验室常用设备

技术参数

双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50

炉体结构

该设备采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55

·           炉底安装一对滑轨,可手动滑动以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。

炉管尺寸

Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

输入电压

220VAC 单相 50/60Hz

加热元件

Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

最高温度

最高温度:1200 

额定温度:1100

升温速率

 10/min(推荐)

加热区长度度

·         两个加热区的长度都是200mm

·         分别由独立的温控系统控制

恒温区长

·         100+100mm(±1℃)

·         可获得较长恒温区间

控温精度

·          ±1

快速连接法兰

·         Φ50快结式不锈钢真空法兰

·         打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
另配备有可调节高度的法兰支架

预热炉

功率

·         1kw

加热区

·         100mm

最高温度

·         1200

工作温度

·         200-800℃(可根据实际工艺需求调整)

五路质子流量控制系统

MFC-5Z

电压

220VAC  单相  50/60Hz

针阀材质

316不锈钢

量程

50sccm100sccm500sccm500sccm500sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择)

工作温度

545

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H) mm

电压

AC220V/50Hz单相

功率

23W

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

最大承载量

·         1000 Lbs 

抽气速率

·         10m³/h

·         极限真空度:10-1Pa

·         双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

质保期

一年质保期,(相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件)

使用注意事项

·         炉管内气压不可高于0.02MPa

·        

·         当炉体温度高于1000时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·         石英管的长时间使用温度<1100

·         对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

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