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三溫區真空氣氛回轉爐CVD係統CVD1200C 900D60III R 3ZLV

文字:[大][中][小] 2018-5-14    瀏覽次數:1226    
 

LFT係列真空回轉管式爐 CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

設備特點

    CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三溫區真空回轉爐、三路質量流量計係統及低真空機組而成一種動態狀態下的化學氣相沉積係統。三溫區開啟式真空回轉管式爐采用雙層風冷結構,爐體表麵溫度≤60,爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型。進口加熱電阻絲鑲嵌延長爐體使用壽命,該設備容許粉末樣品在高溫狀態下動態燒結處理,配備磁流體密封裝置,使得整個設備處於真空狀態下工作。特殊樣品倉結構設計,避免傳統回轉爐取樣等繁瑣操作,該回轉加熱爐與氣路控製係統及真空構成真空回轉CVD係統,滿足樣品在真空或者氣氛條等多種實驗條件下燒結,工藝擴展型好,重複性好。是專為高等院校﹑科研院所的實驗室及工礦企業在高溫真空添加下處理粉末材料的理想設備.

技術參數:

名稱

規格

開啟式三溫區真空回轉管式爐CVD係統 CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

 

 

 

 

三溫區真空回轉爐

爐管尺寸

Φ60×1400mm 更多其他規格石英管可選(Φ50/60/80/100mm等)

配備特殊設計石英樣品倉,可將樣品倉整管取出,取放樣方便

主要參數

最高溫度: 1200(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變)

 工作溫度: 1100

 推薦升溫速率:10/min

 加熱區長度: 300+300+300mm

 額定功率:7KW

旋轉速度:0-13/min

 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結構

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表麵溫度低於60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火塗層可延長爐子的使用壽命

溫控係統

模糊PID控製和自整定調節功能

 智能化30段可編程控製

 具有超溫及斷偶報警功能

 控溫精度: ±1

 K型熱電偶

 可安裝PC控製軟件對數據進行實時采集(需另購)

溫控儀表(可選)

標配儀表品牌為宇電,可指定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔淨實驗環境或者較高真空需求

密封係統

爐管兩端配有不鏽鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

 如需獲得較高的真空度,建議采用不鏽鋼波紋管連接及數顯真空計(需另外訂購)

出氣端配備磁流體密封裝置,容許設備在連續真空條件下工作。

備注:本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不鏽管或者聚四氟管。

出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴展端口

 如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機械泵:10^-1Pa

 分子泵機組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

淨重

40Kg

三路質量流量控製係統

MFC-3Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

 316不鏽鋼

量程

 50sccm100sccm200sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 545

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空係統

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m³/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油汙過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年保修,終身技術支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修範圍內。

相關應用

爐膛內襯可以單獨更換(額外付費)

 可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

應用注意事項

爐管內氣壓不可高於0.02MPa

 由於氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 當爐體溫度高於1000℃時,爐管內不可處於真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊

 石英管的長時間使用溫度<1100

 對於樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大於0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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