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CVD系统

三温区真空气氛回转炉CVD系统CVD1200C 900D60III R 3ZLV

文字:[大][中][小] 2018-5-14    浏览次数:775    
 

LFT系列真空回转管式炉 CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

设备特点

    CVD1200C 900D60IIIR 3ZLV 是集三温区真空回转炉、三路质量流量计系统及低真空机组而成一种动态状态下的化学气相沉积系统。三温区开启式真空回转管式炉采用双层风冷结构,炉体表面温度≤60,炉膛采用高纯度氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型。进口加热电阻丝镶嵌延长炉体使用寿命,该设备容许粉末样品在高温状态下动态烧结处理,配备磁流体密封装置,使得整个设备处于真空状态下工作。特殊样品仓结构设计,避免传统回转炉取样等繁琐操作,该回转加热炉与气路控制系统及真空构成真空回转CVD系统,满足样品在真空或者气氛条等多种实验条件下烧结,工艺扩展型好,重复性好。是专为高等院校﹑科研院所的实验室及工矿企业在高温真空添加下处理粉末材料的理想设备.

技术参数:

名称

规格

开启式三温区真空回转管式炉CVD系统 CVD1200C 900D60IIIR3ZLV

 

 

 

 

三温区真空回转炉

炉管尺寸

Φ60×1400mm 更多其他规格石英管可选(Φ50/60/80/100mm等)

配备特殊设计石英样品仓,可将样品仓整管取出,取放样方便

主要参数

最高温度: 1200(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)

 工作温度: 1100

 推荐升温速率:10/min

 加热区长度: 300+300+300mm

 额定功率:7KW

旋转速度:0-13/min

 电压:单相AC 208 - 240V, 50Hz

炉体结构

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C

高纯状氧化铝纤维绝缘层,最大限度节约能源

炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命

温控系统

模糊PID控制和自整定调节功能

 智能化30段可编程控制

 具有超温及断偶报警功能

 控温精度: ±1

 K型热电偶

 可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)

温控仪表(可选)

标配仪表品牌为宇电,可指定其他品牌温控仪表,如岛电等。

管堵

多种规格管堵,防止来自内部管子的热辐射,管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰。(包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头)

 如需获得较高的真空度,建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计(需另外订购)

出气端配备磁流体密封装置,容许设备在连续真空条件下工作。

备注:本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口,可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。

出气端预留KF25接口,方便连接真空泵,KF16接口,方便连接数显真空计,以及Φ9气嘴接头,以便出气

扩展端口

 如进气管道为橡胶软管,则需将进气口更换成Φ9气嘴接头

真空度

双极旋片机械泵:10^-1Pa

 分子泵机组:10^-3 Pa

可选配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

净重

40Kg

三路质量流量控制系统

MFC-3Z

电压

 220VAC  单相  50/60Hz

针阀材质

 316不锈钢

量程

 50sccm100sccm200sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择)

工作温度

 545

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

电压

 AC220V/50Hz单相

功率

 23W

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承载量

1000 Lbs 

抽气速率

10m³/h

极限真空度:10-1Pa

双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

质保期

一年保修,终身技术支持。

 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

相关应用

炉膛内衬可以单独更换(额外付费)

 可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 石英管的长时间使用温度<1100

 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

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