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LFT係列小型滑軌爐爐 CVD1200C230D50 3ZLV(含預熱裝置)

文字:[大][中][小] 2019-1-30    瀏覽次數:1072    
 

LFT係列小型滑軌爐爐 CVD1200C230D50 3ZLV(含預熱裝置)

設備特點

1200℃開啟式迷你真空管式爐爐體小巧,升溫速度極快,它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護。其結構使得拆裝爐管方便,操作簡捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態。爐管工件橫穿與進口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內外溫差可控製在正負3度,滑軌爐設計可是樣品快速升溫或降溫。預熱的裝置可以很好控製固態源的蒸發,可用於二維材料的製備等,是一款性價比極高的快速升降溫爐。

技術參數:

名稱

規格

小型滑軌式管式爐CVD係統 CVD1200C 230D50 3ZLV

 

 

 

 

開啟式真空管式滑軌爐 

爐管尺寸

Φ50×1200mm 更多其他規格石英管可選(Φ25/60mm等)

主要參數

最高溫度: 1200(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變)

 工作溫度: 1100

 推薦升溫速率:20/min

 加熱區長度:230mm

 額定功率:2KW

 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

爐體結構

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表麵溫度低於60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火塗層可延長爐子的使用壽命

溫控係統

模糊PID控製和自整定調節功能

 智能化30段可編程控製

 具有超溫及斷偶報警功能

 控溫精度: ±1

 K型熱電偶

 可安裝PC控製軟件對數據進行實時采集(需另購)

溫控儀表(可選)

標配儀表品牌為宇電,可指定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔淨實驗環境或者較高真空需求

密封係統

爐管兩端配有不鏽鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

 如需獲得較高的真空度,建議采用不鏽鋼波紋管連接及數顯真空計(需另外訂購)

備注:本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不鏽管或者聚四氟管。

出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴展端口

 如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機械泵:10^-1Pa

 分子泵機組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

淨重

40Kg

2路質量流量控製係統

MFC-2Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

 316不鏽鋼

量程

100sccm200sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

 545

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空係統

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs 

抽氣速率

10m³/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油汙過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年保修,終身技術支持。

 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修範圍內。

相關應用

爐膛內襯可以單獨更換(額外付費)

 可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

應用注意事項

爐管內氣壓不可高於0.02MPa

 由於氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

 當爐體溫度高於1000℃時,爐管內不可處於真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊

 石英管的長時間使用溫度<1100

 對於樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大於0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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