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CVD係統
LFT係列小型滑軌爐爐 CVD1200C230D50 3ZLV(含預熱裝置)
設備特點:
1200℃開啟式迷你真空管式爐爐體小巧,升溫速度極快,它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護。其結構使得拆裝爐管方便,操作簡捷,使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態。爐管工件橫穿與進口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內外溫差可控製在正負3度,滑軌爐設計可是樣品快速升溫或降溫。預熱的裝置可以很好控製固態源的蒸發,可用於二維材料的製備等,是一款性價比極高的快速升降溫爐。
技術參數:
名稱 |
規格 |
小型滑軌式管式爐CVD係統 CVD1200C 230D50 3ZLV |
開啟式真空管式滑軌爐 |
爐管尺寸 |
Φ50×1200mm 更多其他規格石英管可選(Φ25/60mm等) |
主要參數 |
最高溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變) 工作溫度: ≤1100℃ 推薦升溫速率:≤20℃/min 加熱區長度:230mm 額定功率:2KW 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz |
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爐體結構 |
雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表麵溫度低於60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火塗層可延長爐子的使用壽命 |
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溫控係統 |
模糊PID控製和自整定調節功能 智能化30段可編程控製 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶 可安裝PC控製軟件對數據進行實時采集(需另購) |
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溫控儀表(可選) |
標配儀表品牌為宇電,可指定其他品牌溫控儀表,如島電等。 |
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管堵 |
多種規格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔淨實驗環境或者較高真空需求 |
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密封係統 |
爐管兩端配有不鏽鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭) 如需獲得較高的真空度,建議采用不鏽鋼波紋管連接及數顯真空計(需另外訂購) 備注:本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不鏽管或者聚四氟管。 出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣 |
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擴展端口 |
如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭 |
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真空度 |
雙極旋片機械泵:10^-1Pa 分子泵機組:10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 |
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外形尺寸 |
650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) |
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淨重 |
40Kg |
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2路質量流量控製係統 MFC-2Z |
電壓 |
220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 |
316不鏽鋼 |
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量程 |
100sccm、200sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇) |
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工作溫度 |
5~45℃ |
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外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 750(H) mm |
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電壓 |
AC220V/50Hz單相 |
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功率 |
23W |
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真空係統 LVU-10 |
殼體尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
最大承載量 |
1000 Lbs |
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抽氣速率 |
10m³/h 極限真空度:10-1Pa 雙層立式油汙過濾器(PE材質)與真空泵連接 |
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質保期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修範圍內。 |
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相關應用 |
爐膛內襯可以單獨更換(額外付費) 可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子 |
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應用注意事項 |
爐管內氣壓不可高於0.02MPa 由於氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高於1000℃時,爐管內不可處於真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對於樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大於0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |